Paraje < caserío < aldea. But the tricky one is cantón, which can be a village on the outskirts of a town (poblado) or an area of a town or city (some parts of Guatemala City are called cantones and some barrios). It's difficult to gauge the size of a cantón compared with paraje/caserío/aldea.
Here's a quotation which gives a hint of how slippery these terms are (it's referring to Guatemala City):
"El Cantón Jocotenango, conocido antaño también como caserío, se constituye hoy como un barrio ubicado al Norte de la ciudad capital, en la zona 2."
http://cultura.muniguate.com/index.php/component/content/art...Here's the relevant article (4 [b]) from Guatemala's Código Municipal. There are more terms than just these, and all are subdivisions of a municipio:
"Las entidades locales de ámbito territorial en que el municipio se divide, tales como: aldea, caserío, paraje, cantón, barrio, zona, colonia, lotificación, parcelamiento urbano o agrario, microregión, finca, y demás formas de ordenamiento territorial definidas localmente."
http://www.unicef.org/guatemala/spanish/CodigoMunicipal.pdfThere's a PhD thesis in this.