Mesagräben

German to French Science Electronics / Elect Eng semi-conducteurs

Ätzen von Mesagräben zur Definition von einzelnen Chips

tranchées (?) mésa

Un terme plus employé dans l'électronique (pas ma spécialité)?

Claude-André Assian (asker) Dec 10, 2014: Merci beaucoup pour la réf à cette thèse concernant le sujet. On y parle tout simplement de "Mésas"!
Jean-Christophe Vieillard Dec 10, 2014: d'accord avec Alain. La gravure peut-être le procédé et le résultat. "gravures MESA d'une profondeur supérieure" https://ori-nuxeo.univ-lille1.fr/nuxeo/site/esupversions/48b...
Claude-André Assian (asker) Dec 10, 2014: merci pour ces précisions mais le terme de gravures ne concerne-t-il pas plutôt le procédé que le trou lui-même?
Alain Boulé Dec 10, 2014: gravures mésa L’isolation latérale (fig. I.6), quant à elle, est obtenue soit en effectuant une gravure RIE (reactive ion etching) du silicium et en la remplissant d’oxyde et de poly-silicium, soit par la fabrication d’isolation par jonctions, soit pour des couches SOI plus fines, par la réalisation d’un mésa (gravure de larges plateaux entre composants) ou un LOCOS (LOCalized Oxidation Of Silicon). https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00245808/document